如果高纯六氟化硫的纯度低了，其绝缘强度将大幅度下降，使用在电器绝缘时容易被高电压击穿造成事故从有关部门的试验及研究结果得知。那么出现纯度不纯了有哪些原因?
高纯六氟化硫纯度不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。大家知道，目前化工行业制造高纯六氟化硫的方法主要是采用单质硫磺与过量气态氟直接化合反应而成;即S+3F2→SF6+Q(放出热量) 。在合成的粗品中含有多种杂质，其杂质的组成和含量因原材料的纯 度、生产设备的材质、工艺条件等因素的影响而有很大差异，杂质总含量可达5%。其组成有硫氟化合物，如:S2、F2、SF2、SF4 等;硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、 SOF4 等 以及原料中带入的杂质如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。
为了净化粗品中的杂质，合成后的六氟化硫气体还需要经过水洗、碱洗、热解(去除剧毒的十氟化物) 、干燥、吸附、冷冻、蒸馏提纯等一系列净化处理过程才能得到纯度在99.8%以上的产品。然后再用压缩机加压，充入降温至 -80℃左 右的钢瓶中，以液态形式存在。在使用时减压放出，呈气态冲入电气设备中。
除在上面的合成过程中产生的杂质外，另外，在六氟化硫气体厂家充装过程中还可能混入少量的空气、水分、和矿物油等杂质，这些杂质均带有或会产生一定的毒性物质。因此，为保证六氟化硫的纯度和质量，对出厂的六氟化硫国际电工委员会(IEC)及许多国家均制定了质量标准，并要求生产厂家在供货时提供生物试验无毒证明书。