高纯六氟化硫泄漏检查分为定性和定量检查，定性检查是直接对设备各接头密封点铝铸件进行检测，可以查出设备各泄漏点位置。定量检查是通过包扎检测、挂瓶法或压力折算求出泄漏量，从而得出年泄漏率。
定性高纯六氟化硫检漏有抽真空检漏和检漏仪检测两种方法:
① 抽真空检漏法是将设备抽真空至40Pa，停泵0.5h，在真空表上读出A数，再停5h，读出B数，若B - A≤133Pa，则认为密封良好;
② 检漏仪检漏是将检漏仪探头沿设备各连接口表面和铝铸件表面移动，根据高纯六氟化硫检漏仪读数判断气体的泄漏情况。
检漏仪检漏时应注意:探头移动速度应慢，以防探头移动过快而错过泄漏点;检漏时不应在风速大的情况下，避免高纯六氟化硫泄漏气体被风吹走而影响检漏;检漏仪选择灵敏度高、响应速度小的检漏仪，一般使用检漏仪的最低检出量
定量检漏通常采用扣罩法、挂瓶法、局部包扎法、压降法等方法。扣罩法适用于高压断路器、小型设备适合做罩的场合，挂瓶法适用于法兰面有双道密封槽的场合，局部包扎法一般用于组装单元和大型产品，压降法适用于设备隔室漏气量较大时或运行期间测定漏气率。通常，黎明六氟化硫设备在交接验收试验中，检漏工作都使用局部包扎法和扣罩法查漏。