六氟化硫回收净化装置使用运行科研等部门, 对各种电器设备进行抽真空，对电器设备充入SF6气体，并从使用或试验的电器中回收SF6气体,同时进行净化处理压缩贮存到贮罐。
六氟化硫回收净化对装置本机以及电器设备抽真空和真空度的测量的同时，还可对电器设备中的气体进行回收。同时，对回收和回充的SF6气体进行干燥、净化处理，并对SF6电器进行充气。还可对电器中SF6气体进行压缩液态贮存。该装置的特点如下:
(1)六氟化硫回收净化装置设计先进，功能齐全，结构合理，操作简洁明了。
(2)压缩系统采用SF6专用封闭压缩机，无泄漏。
(3)六氟化硫回收净化装置的抽真空系统采用旋片式真空泵，在系统中设有自动防止返回油装置。
(4)净化系统采用日本CKD公司原理过滤器，过滤器采用电加热及内装高效吸附剂，净化效果更显著(无需频繁更换吸附剂)。
(5)装置电气系统三相电源自动确认、断相自动保护。
(6)装置控制系统采用的六氟化硫气体专用阀门。