在工业气体中，六氟化硫气体是一种无色、无味、无毒、具有良好绝缘性的气体。由于绝缘强度高，具有优良的灭弧性能、冷却特性、不燃性和热稳定性，被广泛应用于电力传输系统中。正因如此，才更要做好前期检查工作。
六氟化硫气体中湿度较大时，如果设备内发生电弧，六氟化硫气体的电弧分解物在水分参与下会产生很多有毒物质，如SOF2,HF等，从而腐蚀断路器内部结构材料并威胁检修人员人身安全;另外.当湿度大时.随着温度的变化，在绝缘件的表面产生凝结水，造成沿面闪络.使其绝缘强度下降，威胁设备安全运行。
酸度的大小在一定程度上代表或象征着六氟化硫气体毒性的大小，特别是酸性组分和水分同时存在时，有可能发生凝聚，将会严重危及电气设备的安全运行。空气、四氟化碳、矿物油等杂质会降低绝缘和灭弧性能，电气设备在受到大电流、高电压、高温等外界因素的影响下，同时有氧气和水分存在时将产生有毒或剧毒的含氧低氟化物，这些杂质对人体危害很大，并且会腐蚀设备的金属部件和绝缘材料。
在高纯六氟化硫杂质中的含硫低氟化物。其中有些极易水解形成酸性或有毒物质，损害人体健康和设备运行安全。