1.极低的蒸汽压:这是真空泵油的重要性能指标。蒸汽压越低真空度就会越高，由于旋片真空泵要求真空度达到0.06Pa，高的要求达到1.33×10^－4Pa以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
2.合适的粘度，良好的粘温特性:真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。（粘温特性是指，随着泵内温度的升高或降低，真空油的粘度会产生变动。粘温特性好的真空油，粘度随温度的变动就越小。）
3.良好的热氧化稳定性:真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，热氧化差就会使真空泵油氧化变质。造成真空度低下，因此要求真空泵油有良好的热氧化稳定性。
4.良好的抗腐蚀性与抗乳化性:真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。
5.较高的闪点:要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
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