| 功能 | 流量计/控制器 |
| 基本型号 | LF400-S |
| 满量程流量范围(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
| SLM | 0～1,2,3,5,10,15,20,30 |
| 精度(％F.S) | ±1(≤15SLM) |
| ±1.5(＞15SLM.) |
| 控制阀动作型式 | 常闭式 |
| 线性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) |
| ±1.5％(＞15SLM.) |
| 重复精度(％F.S.) | ±0.2 |
| 响应时间(sec) | ≤1 |
| 流量输出信号 | 0-+5.00V |
| 流量设定信号 | 0-+5.00V |
| 电器接头 | DB15pin(接头) |
| 工作环境温度 | (℃) | 5～45 |
| 工作压差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
| 漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
| 最大耐压 | 3MPa |
| 介质接触材质 | 304，316，316L |
| 密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯 |
| 接头 | VCR"1/4、1/2 |
| Swagelok1/8”、1/4”、3/8”、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm |
| 接头和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm1/4"VCR:127×28×100mm |
| 电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA |
| 重量 | 1.0KG |