D07-7B 气体质量流量控制器
流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度±1.5％F.S.
重复精度±0.2% FS
线性±1％F.S.响应时间≤10sec
工作温度范围(5~45)°C耐压3MPa密封材料氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶)
Neoprene
输入输出信号(0~5)VDC
电源±15V阀类型常闭温度系数- 无 -零点飘移指标- 无 -电气连接D sub 15 pins Female
工作压差范围(0.1～0.5) MPa漏率1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He）
标准接头形式双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1
软管接头表面化学成分- 无 -表面粗糙度- 无 -抗电磁干扰- 无 -重量1.1Kg
产品主要技术参数
是否显示累积流量否外形嵌入型显示器数1输出电源±15V基准源+5.00V±0.1% 10mA供电电源~85-265VAC 50/60Hz、功耗15W输入信号0~+5.00V 4~20mA/0~10mA输出信号0~+5.00V 4~20mA/0~10mA控制通道数1MFC/MFM抗电磁干扰CE外形尺寸96×96×157mm重量1kg开孔尺寸- 无 -
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、流量计
ZF-MFC-XX系列 质量流量计/质量流量控制器
质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）是以气体的质量流量为计量基准的流量计。传感器采用进口流量传感芯片及温度补偿技术，其测量值不随气体的压力,温度的变化而波动。较之一般的体积流量计具有无可比拟的优越性，同时具有全量程高稳定性，高精度和优良的重复性，测量精度高，计量的起始流量小，自动稳零点，响应速度快。同时可输出4~20mA信号，可供远程仪表连接由上位机实现设定、控制、记录等功能 。