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霍尼韦尔流量传感器Zephyr? HAF系列——高精度，±50 SCCM 至 ±750 SCCM信号调节放大、补偿技术具有绝热加热器的硅片
流量/压力范围0 SCCM 至 ±50 SCCM
0 SCCM 至 ±100 SCCM
0 SCCM 至 ±200 SCCM
0 SCCM 至 ±400 SCCM
0 SCCM 至 ±750 SCCM
总误差带低至 ±0.25 %FSS
输出模拟 (Vdc)，数字（I2C）
功耗3.3 Vdc:典型值:40 mW（无负载）（模拟）典型值:23 mW（无负载）（数字）5.0 Vdc:典型值:55 mW（无负载）（模拟）
典型值:38 mW（无负载）（数字）
端口类型长接口紧固件安装
短接口紧固件安装
短接口卡扣式安装
支持的介质无腐蚀性干燥气体
补偿温度范围0°C 至 50°C
[32°F 至 122°F]
工作温度范围 -20°C 至 70°C
[-4°F 至 158°F]
霍尼韦尔流量传感器Zephyr? HAF系列——高精度，10 SLPM 至 300 SLPM信号调节放大、补偿技术具有绝热加热器的硅片
流量/压力范围0 SLPM 至 10 SLPM
0 SLPM 至 15 SLPM
0 SLPM 至 20 SLPM
0 SLPM 至 50 SLPM
0 SLPM 至 100 SLPM
0 SLPM 至 200 SLPM
0 SLPM 至 300 SLPM
总误差带10 SLPM 至 200 SLPM:4.0% 读数
300 SLPM:7.0% 读数
输出数字（I2C）
功耗3 Vdc:最大 60 mW
10 Vdc:最大 200 mW
端口类型 歧管安装
22 mm OD 锥形螺头
G 3/8 母螺纹接头
支持的介质无腐蚀性干燥气体
补偿温度范围0°C 至 50°C
[32°F 至 122°F]
工作温度范围 -20°C 至 70°C
[-4°F 至 158°F]