3、d 光刻制程 Color Filter 曝光去除边缘曝光 检测检测Color Filter 基板玻璃去除边缘，显影 去除光阻显影光阻BM制程去除光阻 TFT-LCD 制造流程制造流程LCD基板玻璃表面的污染物基板玻璃表面的污染物污染物分类污染物分类污染物来源污染物来源清洗方法清洗方法有机污染物有机污染物包装纸中的有机物、指包装纸中的有机物、指印、油脂等印、油脂等玻璃清洗剂清洗玻璃清洗剂清洗碱液清洗碱液清洗UV光照射光照射(O3)清洗清洗无机污染物无机污染物灰尘、玻璃屑或研磨剂灰尘、玻璃屑或研磨剂等微粒子等微粒子(particle)超音波清洗超音波清洗喷淋加毛刷清洗喷淋加毛刷清洗配合溢流与过滤配
5、气相超声波清洗机 清洗机清洗系统使用清洗液。水性系统通常由敞口槽组成，工件浸没其中。而复杂的系统会由多个槽组成，超声波清洗机并配备循环过滤系统、濆淋槽、干燥槽以及其它附件。超声波清洗设备对于使用溶剂的系统，多为超声波汽相除油脂超声波清洗机，常配备废液连续回收装置。超声波清洗机汽相清除油脂过程是由溶剂蒸发槽和超声波清洗设备清洗机浸洗槽组成的集成式多槽系统完成的。在热的溶剂蒸汽和超声激荡共同作用下，油、脂、蜡以及其它溶于溶剂的污垢就被除去。经过一系列清洗工序后下料的工件发热、洁净、干燥。
盐酸是化学清洗过程中广泛选用的无机酸，具有成本低、操作简单、溶垢快以及清洗后设备表面状态良好等特点。由于多数的金属氯化物一般都是易溶的，因而对于呈碱性的碳酸盐水垢、铁锈、铜锈、铝锈等，盐酸很好地溶解。通常使用质量分数10%以下的盐酸水溶液，加适当的缓蚀剂，尽量常温清洗，以免产生酸雾。盐酸适用于碳钢、铜、铜合金以及许多金属的设备，如换热器、反应设备、锅炉、采暖系统等的清洗。盐酸中氯离子的存在，既有促进金属腐蚀产物溶解的有利的一面，又有导致钝性材料钝化膜部破坏发小孔腐蚀的不利的一面。普通的不锈钢和铝及合金材料属于靠表面产生的氧化物钝化膜的保护才稳定的钝性材料，一旦钝化膜被破坏，材料就会遭到严重腐蚀。对于普通不锈钢及铝材来说，氯离子是能部破坏钝化膜的活性离子，是造成小孔腐蚀的主要因素。因而，不宜选用盐酸作为清洗不锈钢和铝材表面污垢的清洗液。盐酸用于化学清洗的浓度一般为5%~15%。10%以下的盐酸在常温下的挥发性有明显的减少，但要尽量避免升温使用，以产生酸雾。酸洗后残液一定要用清水冲净，然后进行钝化。绿色防锈剂的优点:用于注塑模具厂防锈的专用油品，其颜色是绿色的，可以有效保护注塑模具防止生锈，防锈时间长达5年之久。另外，绿色长期模具防锈剂在清洗的时候也是非常方便，只要用模具清洗剂一喷即清洗干净。主要特性就是对塑料制品模具防锈期特别长，另外在挤塑模具上面也是特别突出。正常的包装规定是450ML/支。