技术参数
旋转工作台
旋转精度 (径向): (0.02+3.5H/10000)μm
旋转精度 (轴向): (0.02+3.5X/10000)μm
H 为测量高度 (mm), X 为离旋转工作台轴的距离 (mm)
旋转速度: 2, 4, 6, 10rpm
(20rpm: 自动调心)
工作台有效直径: 300mm
调心范围: ±5mm
调调水平范围: ±1º
最大测量直径: 400mm
最大工件直径: 680mm
台面最大承重: 80kg (65kg: 自动调心)
垂直轴 (Z 轴)
垂直移动: 350mm: AS 型; 550mm: AH 型
直线度 (λc2.5): 0.05μm / 100mm, 0.14μm / 350mm: AS 型
0.05μm / 100mm, 0.2μm / 550mm: AH 型
与转台轴的平行度: 0.2μm / 350mm: AS 型
0.32μm / 550mm: AH 型
定位速度: 最大60mm/s
测量速度: 0.5, 1, 2, 5mm/s
最大检测高度: 350mm (OD), 350mm (ID)
(550mm (OD / ID): AH 型)
最大检测深度: 85mm - ø32mm 或更多
50mm - ø7mm 或更多
水平臂 (X 轴)
水平移动: 225mm
直线度 (λc2.5): 0.4μm / 200mm
与转台轴的垂直度: 0.5μm / 200mm
定位速度: 最大50mm/s
测量速度: 0.5, 1, 2, 5mm/s
测针和测头
测量范围: ±400μm/±40μm/±4μm
测力: 10 – 50mN (5 级转换)
标准测针: 12AAL021, 硬质合金球, ø1.6mm
测量方向: 双方向
测头角度调整: ±45º (带刻度)
供气
气压: 0.39MPa
耗气量: 45L/min.
电源: 100V AC – 240V AC, 50/60Hz
尺寸 (W x D x H): 1260 x 710 x 1700mm
(1260 x 710 x 1900mm: AH 型)
重量: 650kg: AS 型; 670kg: AH 型
带有防震台架:170kg自动调心、调水平的高精度旋转工作台
高精度、高刚度的旋转工作台研制成功有
赖于其关键部件如转子、定子等的特殊工
艺精度。此外，含有复杂孔径的气浮轴承
保证了刚度极高且压力分布均匀。所有这
一切造就了工业界领先的(径向) 旋转精度
(0.02+4H/10000)μm。内径/ 外径的连续、自动测量
连续自动测量可不改变测头位置，从外径
到内径依次进行。这样做可缩短测量时间，
排除因测头位置变化引起的误差，对高精
度测量极为有利。