水处理臭氧发生应用技术主要分发生、冷却、干燥、气水混合四大基础部门和电控系统、结构系统六大方面技术。
水处理臭氧发生多采用气隙放电法，因浓度需求，其电耗增高，器件的温升也不可避免，温升是影响臭氧产生和设备寿命的主要因素，所以一般需要冷却，主要有风冷，水冷两种，有的则通过寒气源来解决，采用哪种方式，由设备设计决定。
在同样臭氧发生部件、电源前提下，臭氧产量与气源干燥度是成正比的，即气源干燥度越高，发生量/小时值也就越高，所以对气源的净化干燥处理是不可少的，一般称为气源预处理或气源干燥器系统。
目前气源干燥的手段主要有冷冻、露凝、化学法等，其干燥度以相称于空气温度计算，如-40℃指的是气源在-40℃时的干燥程度。臭氧在水处理技术中的应用范围越来越广，而对应的水处理设备也将更多的走进实际应用。