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超精密平面研磨机广泛应用于亚纳米级超光滑平面零件、中小型精密平面零件的超精密研磨和抛光加工。此外,通过附加工装,还可将其应用于球类和圆柱类零件的超精密研磨、抛光加工。在使用超精密平面研磨机抛光陶瓷、宝石、光学玻璃等硬脆材料时,工件表面不会生锈。
超精密平面研磨机技术指标为加工工件平面度0.03μm/(50mm×50mm),加工工件表面粗糙度Ra0.000 3μm。超精密研磨机具有高精度的抛光盘和运动主轴,轴向跳动精度优于0.2μm,能使零件与抛光盘保持在一定间隙下平稳运动。抛光盘主轴和工件主轴均为可调速的主动驱动轴,工件(上研磨盘)与抛光盘(下研磨盘)保持固定的偏心距绕各自轴线旋转,利用上下主轴的“定偏心、同方向、同转速”实现工件材料的均匀去除。
在超精密平面研磨机上配有金刚石切削机构,可以对下研磨盘(用金属锡制成)进行在线超精密螺旋线沟槽车削修整。上研磨盘直径Φ180mm,下研磨盘直径Φ500mm。本工艺试验中,上、下研磨盘转速相同,均为20r/min。