硅片切片后清洗设备

供应商：
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
价格：
面议
最小起订量：
1台
地址：
跨春工业坊5E
电话：
62819188
联系人：
华林（请说在中科商务网上看到）
产品编号：
15098681
更新时间：
2021-02-23
发布者IP：
121.228.137.68

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产品介绍
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详细说明

　　设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道、全氟循环系统，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。

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