去离子水设备的工艺大致可分为三种:
去离子水设备工艺第一种:采用阳阴离子交换树脂制取的去离子水，一般处理之后，出水电导率可降到10us/cm以下，再经过混床就可以达到1us/cm以下了。这种方法做出来的水成本比较高，而且颗粒杂质太多，达不到理想的要求，目前已较少采用了。
去离子水设备工艺第二种:预处理（即砂碳过滤器+精密过滤器）+反渗透+混床工艺
这种方法是目前采用最多的，因为反渗透投资成本也不算高，可以去除90%以上的水中离子，剩下的离子再通过混床交换除去，这样可使出水电阻率做到15~18MΩ左右，这样是目前最流行的方法。
去离子水设备工艺第三种:前处理与第二种方法一样使用反渗透，只是后面使用的混床采用EDI连续除盐膜块代替，这样就不用酸碱再生树脂，而是用电再生。这就彻底使整个过程无污染了，经过处理后的水质电阻率可达到15MΩ以上。这种方法的前期投资比较多，运行成本低。
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