1.主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。 2.所有元器件及核心部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。 3.真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系， 在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降 低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐 高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置 于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。 4.自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显 示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录，适合维护，可以提供工 艺参考。 5.可存储50组工艺配方，随意调用。 6.清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。 7.工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。 8.一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。 9.自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延 长使用寿命。 10.气体质量流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0～200sccm可在量 程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进行PID调节而实 现真空度的控制。 11.根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等, 电极结构（专利申请中）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性 及稳定性。