低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，低温等离子设备其应用广泛不言而喻。等离子体技术工艺简单。吸附法要考虑吸附剂的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；燃烧法需要很高的操作温度；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合微生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子设备并可同时消除混合污染物(有些情况还具有协同作用)，不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，微观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，低温等离子设备所以不仅能量利用率高，而且使设备维护费用也很低。
低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。
低温等离子体去除污染物的机理:
等离子体化学反应过程中，低温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下:
(1)电场＋电子→高能电子
(2)高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4)活性基团＋活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，低温等离子设备电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
低温等离子体废气处理设备性能特点:
1、高科技创新产品:“低温等离子体”技术是电子、化学、催化等综合作用下的电化学过程，是一全新的技术创新领域。是依靠等离子体在瞬间产生的强大电场能量电离、裂解有害气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。
2、高效废气净化:本设备能高效去除挥发性有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，除臭效率可达98%
以上，对于长期弥漫、积累的恶臭、异味，24小时内即可祛除，并且具有强力杀灭空气中细菌、病毒等各种微生物能力，而且具有明显的防霉作用。除臭效果超过国家颁布的恶臭污染物排放一级标准。
3、无需添加任何物质:低温等离子体废气处理是一种干法净化过程，是一种全新的净化过程，不需任何添加剂，不产生废水、废渣，不会导致二次污染。
4、适应性强:持久的净化功能，无须专人看管。可适应高浓度、大气量、不同气态物质的净化处理，可在高温250℃,低温-50℃的环境内,净化区均可运转,特别是在潮湿,甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行，每天24小时连续工作，长期运行稳定可靠。
5、低耗节能:运行费用低廉、省电是“低温等离子体”专利核心技术之一,处理1000M3/h臭气，耗电量仅0.25度。本设备无任何机械动作，自动化程度高,工艺简洁,操作简单,方便无需专人管理和日常维护，遇故障自动停机报警，只需作定期检查。