无尘车间洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气无尘车间洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值(低限)0.1um～0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子(0.1um～0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
无尘车间的等级说明
客户或使用单位在要求无尘室的等级给无尘车间施工单位时，请按以下方式选择:
首先是等级定义的模式如下:Class X (at Y μm ) 其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) Class 100(0.2μm , 0.5μm ) Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。
无尘车间工程
空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
空气洁净度等级（N） 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm 5.0μm
注:由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平