废气催化燃烧设备为防止活性炭堵塞，废气进入设备前需增设干式过滤器进行预处理，把废气中的杂质及颗粒物进行过滤，确保活性炭的使用寿命。脱附后的气体经阻火器、进气阀、换热器、电加热器（预热器）升温，使气体温度升至催化燃烧所需要的温度，在催化床内的催化剂的作用下分解成水和二氧化。
当废气催化燃烧设备有机废气的流量大、浓度低、温度低、采用催化燃烧需消耗大量的燃料时，可先采用吸附手段将有机废气吸附于吸附剂上并进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使有机废气脱附成为高浓度有机废气(可浓缩10倍以上)后再进行催化燃烧。不需要补充热源可以维持正常运行，其工艺流程对有机废气催化燃烧处理工艺的选择主要取决于:
1.燃烧过程的放热量，即废气中的种类和浓度;
2.起燃温度，即有机组分的性质及催化剂活性;
3.热量回收率等。当回收热量过预热所需热量时，可实现自身热平衡运转，无需外界补充热源，这是经济的。
废气催化燃烧设备特点
废气催化燃烧设备脱附后的气体经阻火器、进气阀、换热器、电加热器（预热器）升温，使气体温度升至催化燃烧所需要的温度，在催化床内的催化剂的作用下分解成水和二氧化碳，同时放出大量的热，使气体温度进一步提高，高温气体再通过换热器进行部分热量回收后，通过风机排出。