石墨软毡是将硬毡经过石墨化制成，它具有质轻、扰性好，炭含量高、耐高温、高温无挥发，耐腐蚀，导热系数小的性能，并有高度的形状保持性，是高温真空电阻炉，特别适用于半导体的特种材料，制备炉的优良保温材料，也是抗腐蚀的过滤材料。
石墨软毡的主要特性:
1、导热系数低
2、比热低
3、热稳定性高
4、阻抗良好
5、加工简单
6、表面性能好
7、纯度高
8、结构非常均匀
9、不产生静电
石墨硬毡主要应用在:真空炉隔热； 惰性气体炉隔热；多晶硅/单晶硅炉隔热
主要特点:低导热系数；高纯度；高热稳定性；抗侵蚀；易切割加工
1、电极的设计:可减少单个电极的数量/可做成组合电极；能节省电极夹具系统从而节省费用
2、电极的加工制作:高速铣粗加工较铜块3倍；高速铣精加工较铜快5倍；可加工性好；能实现复杂的几何造型
3、重量轻，其密度不足铜的1/4:热稳定性好（不变形）；可减少单个电极的数量/可做成组合电极；无需去毛刺；电极易夹持
4、电火花放电加工EDM:粗加工时电极损耗小；工作去除率高；可减少单个电极的数量/可做成组合电极；在电解液中对环境无污染；重量轻，其密度不足铜的1/4；优良的热稳定性，电极不变形；选用细颗粒的石墨电极能加工出高品质的工件表面加工不同的工件可选用不同牌号的石墨材料