E09.Cap电容非接触式测微仪，通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移，测量精度为纳米级。
测微仪由机箱与传感模块组成，可组成多通道测量。
原理
它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属时，传感器仍是线性的。
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