| FX5U系列PLC的CPU单元型号 |
| FX5U-32MR/ES 16入16出继电器型 |
| FX5U-32MT/ES 16入16出晶体管型 （漏型） |
| FX5U-32MT/ESS 16入16出晶体管型 （源型） |
| FX5U-64MR/ES 32入32出继电器 |
| FX5U-64MT/ES 32入32出晶体管（漏型） |
| FX5U-64MT/ESS 32入32出晶体 （源型） |
| FX5U-80MR/ES 40入40出继电器 |
| FX5U-80MT/ES 40入40出晶体管（漏型） |
| FX5U-80MT/ESS 40入40出晶体管（源型） |
| 三菱FX5U-32MR/DS 16入16出继电器型 DC24V输入 |
| 三菱FX5U-32MT/DS 16入16出晶体管型 （漏型）DC24V输入 |
| 三菱FX5U-32MT/DSS 16入16出晶体管型 （源型）DC24V输入 |
| FX5U-64MR/DS 32入32出继电器 DC24V输入 |
| FX5U-64MT/DS 32入32出晶体管（漏型）DC24V输入 |
| FX5U-64MT/DSS 32入32出晶体 （源型）DC24V输入 |
| FX5U-80MR/DS 40入40出继电器 DC24V输入 |
| FX5U-80MT/DS 40入40出晶体管（漏型） DC24V输入 |
| FX5U-80MT/DSS 40入40出晶体管（源型 DC24V输入 |
| FX5UC-32MT/D 16入16出继电器型（漏型） |
| FX5UC-32MT/DSS 16入16出继电器型源型) |
| FX5UC-64MT/D 32入32出继电器型（漏型） |
| FX5UC-64MT/DSS 32入32出继电器型（源型) |
| FX5UC-96MT/D 48入48出继电器型（漏型） |
| FX5UC-96MT/DSS 48入48出继电器型（源型) |