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通过催化净化技术(复合过滤网)将高能离子净化技术中和静电除尘技术中产生的O3在催化剂的作用下,变成氧离子(O-、O+)和氢氧基,在分解O3的同时,这些氧离子和氢氧基具有强的氧化性,与有害有机物进行反应,可以瞬间降解成CO2和H2O等无害小分子,同时在反应中生成的有机自由基可以继续参加链式反应,进一步发生氧化分解反应,加速有害有机物的降解。复合过滤网采用铝基材孔径为1mm的蜂窝装结构,左右通透,风阻小,表面涂覆特种催化剂,使接触面积大大增加,O3充分分解。
专家指出，电子厂普遍使用集成电路，电子器件较为精密，大量电荷容易产生静电，为避免静电吸附粉尘或静电放电烧坏电路，确保电子器件稳定性和较高品质，无尘车间重要。同时，生物制、医等车间，粉尘容易传播细菌，给产品品质和人身体健康埋下隐患。在国外，无尘车间已经有三十多年历史。荷兰ASML公司拥有世界上好的芯片制造的核心设备--EUV紫外光刻，该设备一台售价高达1亿美元以上，全年仅出厂20台，全世界仅ASML公司能生产。ASML公司除在荷兰总部有5万平米的无尘车间外，在美国、中国台湾、韩国都设有无尘车间。在其无尘车间内空气要比外面干净10000倍，温度保持恒温21度，可谓严苛。
1、一般来说30万级～10万级净化车间，报价大概为1000元／㎡左右；2、万级无菌车间报价大概在1000～2000元／㎡；3、千级无菌车间报价大概在5000元／平左右；4、百级无菌无尘车间装修报价大概在8000元／平左右，毕竟这类无菌车间常用于手术移植等需要隔离的地方，对装修要求很高。5、十级以上的无菌车间对装修公司的要求很高，报价更高，这类车间常用于一些工业半导体。