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以下EDI超纯水设备工艺流程是比较常见的基本工艺流程，其中包括传统的超纯水制取方式与最新超纯水制取方式，同时标出各个工艺流程的水质标准，都符合国家电子级超纯水标准，
又如果水中含铁过高，则会损及紫外线杀菌净水设备的效果。此外，使用净水设备时进水温度应避免过高，许多净水设备或滤心在温度高时，处理效果变差，材料也会受损并减少使用寿命。
普通过滤器的运行流速约8～10m/h，当它运行到水流通过滤层的压力降达到允许极限时，停止过滤运行，开始反洗。此时将过滤器内的水排放到滤层的上缘为止，