本产品适用于5SCCM~30SLM量程范围内的气体精确测控。 *用于小流量的测控，精度高 *模拟电路,稳定性好，抗干扰能力强 *可靠性高，安装简单，操作方便。 可选数字式、模拟式、普通型、高精度型、耐高压型，应用领域广泛，可用于真空及高压等特殊领域。
详细介绍
本公司生产的热式气体质量流量计/控制器，为精度高、响应快、稳定性好、性价比高的自动测控产品，其流量精度不受气体压力、环境温度的影响，适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通型、高精度型、耐高压型，超大流量型，应用领域广泛，可用于真空及高压等特殊领域。
气体质量流量控制器用氮气(N2)标定。
标准状态规定为:
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入设定电压…………0～+5.00V / 4-20mA
输出电压检测…………0～+5.00V / 4-20mA
技术指标
| 功能 | 热式小流量气体质量流量控制器/流量计 |
| 基本型号 | LF420-S / LF420-SM |
| 流量范围(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
| SLM | 0～1，2,，3,，5,，10，20，30 |
| 量程比 | 50:1 / 100:1 |
| 精度(％F.S) | ±1% |
| 控制阀动作型式 | 常闭式 |
| 线性(％F.S.) | ±0.5% |
| 重复精度(％F.S.) | ±0.2% |
| 响应时间(sec) | 1-3 |
| 流量输出信号 | 0-5 DCV/4-20mA |
| 流量设定信号 | 0-5 DCV/4-20mA |
| 电器接头 | DB9 pin(接头) |
| 工作环境温度 | (℃) | 5～45 |
| 工作压差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
| 漏率 | SCCSHe | 1×10-8 |
| 耐压 | 3MPa |
| 介质接触材质 | 316L |
| 密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯 |
| 接头尺寸 | VCR 1/4、1/2 |
| Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm |
| 电源要求 | 24V |
特殊说明:!!!因产品本身的特殊性，量程多种，范围广泛，无法大量备货。如若客户需求量较大或需要的量程没有现货，实属正常情况。望理解！拍宝贝前详情请联系卖家！