电子束镀膜机加装霍尔离子源
上海伯东客户某生产光学镜片公司采购美国 KRI 考夫曼公司大尺寸霍尔离子源 EH 2000加装于电子束镀膜机用于望远镜用金属零部件 IBAD 辅助镀膜!
上海伯东电子束镀膜机加装离子源典型案例: 根据客户 Φ1.2m 镀膜腔体尺寸, 基材尺寸和工艺条件, 推荐选用霍尔离子源 eh2000 HC, 配置中空阴极, 中和器, 自动控制器
1.设备: Φ1.2m 电子束镀膜机.
2.基材:望远镜用零部件, 镀铝 Al, 最外层镀一层二氧化硅 SiO2, 做为保护膜
3. 加装霍尔离子源: eh2000HC, 通氧气
3.离子源条件: Vb:120V ( 离子束阳极电压 ), Ib:14A ( 离子束阳极电流 ), O2 gas:45sccm( 氧气 ).
4.离子源应用: 望远镜用零部件镀金属膜
腔体内中的霍尔离子源 eh2000HC 通氧气 O2 霍尔离子源 eh2000HC 自动控制器
| 美国 KRI霍尔离子源 eh2000HC主要技术规格尺寸: 直径= 5.7“ 高= 4”放电电压 / 电流: 50-250V / 15A可通气体: Ar, O2, N2,H2离子束发散角度:> 45° (hwhm)水冷 |
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源,霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
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